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シリコンマイクロ加工の基礎

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シリコンマイクロ加工の基礎 Ｍ．エルベンスポーク／著　Ｈ．Ｖ．ヤンセン／著　田畑修／訳　佐藤一雄／訳 カバーが少し折れていますが、それ以外は書き込み等なく、キレイです。

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